文献
J-GLOBAL ID:201202218118257300
整理番号:12A0652197
障壁としての応用のための有機ケイ素重合体の化学蒸着による表面粗さの広域および局所平坦化
Global and local planarization of surface roughness by chemical vapor deposition of organosilicon polymer for barrier applications
著者 (2件):
COCLITE Anna Maria
(Dep. of Chemical Engineering, Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, Massachusetts 02139, USA)
,
GLEASON Karen K.
(Dep. of Chemical Engineering, Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, Massachusetts 02139, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
111
号:
7
ページ:
073516-073516-7
発行年:
2012年04月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)