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文献
J-GLOBAL ID：201202218202494083
整理番号：12A1439341
サブ構造反射率を減衰させるNIR吸収アンダーレイヤーによる焦点の改善
Focus Improvement with NIR Absorbing Underlayer Attenuating Substructure Reflectivity
HUANG Wu-Song
(IBM Microelectronics, NY)
,
GOLDFARB Dario
(IBM Thomas J. Watson Res. Center, NY)
,
LI Wai-Kin
(IBM Microelectronics, NY)
,
GLODDE Martin
(IBM Thomas J. Watson Res. Center, NY)
,
NODA Kazumi
(Shin-Etsu Chemical, Niigata, JPN)
,
TACHIBANA Seiichiro
(Shin-Etsu Chemical, Niigata, JPN)
,
OHASHI Masaki
(Shin-Etsu Chemical, Niigata, JPN)
,
OWE-YANG Dah-Chung
(Shin-Etsu Microsi, AZ)
,
KINSHO Takeshi
(Shin-Etsu Chemical, Niigata, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8325 ページ： 83251A.1-83251A.7 発行年： 2012年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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