文献
J-GLOBAL ID:201202218277622060
整理番号:12A1439726
先端ロジック工場における高品質マスク保管
High quality mask storage in an Advanced Logic-Fab
著者 (2件):
JAEHNERT Carmen
(Infineon Technol. Dresden GmbH, Dresden, DEU)
,
FRITSCHE Silvio
(Infineon Technol. Dresden GmbH, Dresden, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8352
ページ:
83520Q.1-83520Q.18
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)