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文献
J-GLOBAL ID：201202219263273434
整理番号：12A1400972
半導体製造工場から排出される腐食性ガスに含まれる粒状物およびミストに対する非金属ESPの粒子除去
Particle removal of a non-metallic ESP for particles and mist in corrosive gases from semiconductor manufacturing industries
KIM Hak-Joon
(Korea Inst. Machinery and Materials(KIMM))
,
KIM Hak-Joon
(Univ. Tokyo)
,
HAN Bangwoo
(Korea Inst. Machinery and Materials(KIMM))
,
KIM Yong-Jin
(Korea Inst. Machinery and Materials(KIMM))
,
ODA Tetsuji
(Univ. Tokyo)
資料名：
静電気学会講演論文集
(Proceedings of Annual Meeting of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 2012 ページ： 203-206 発行年： 2012年
JST資料番号： F0983B ISSN： 1342-1492 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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