文献
J-GLOBAL ID:201202219341764920
整理番号:12A0833608
周期的ミクロ構造の超高分解能光学検査に対する定在波位相誤差の影響
Influence of standing wave phase error on super-resolution optical inspection for periodic microstructures
著者 (4件):
KUDO R
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
USUKI S
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
TAKAHASHI S
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TAKAMASU K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
23
号:
5
ページ:
054007,1-13
発行年:
2012年05月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)