文献
J-GLOBAL ID:201202220452459903
整理番号:12A0853575
ディジタル画像相関処理を使った化学機械研磨パッドコンディショナーの性能評価法
Performance Evaluation Method of Chemical Mechanical Polishing Pad Conditioner Using Digital Image Correlation Processing
著者 (8件):
UNEDA Michio
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
UNEDA Michio
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
OMOTE Tatsunori
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
ISHIKAWA Ken-ichi
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
ICHIKAWA Koichiro
(Fujikoshi Machinery Corp., Nagano, JPN)
,
DOI Toshiro
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KUROKAWA Syuhei
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
OHNISHI Osamu
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
51
号:
5,Issue 2
ページ:
05EF02.1-05EF02.2
発行年:
2012年05月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)