文献
J-GLOBAL ID:201202221175412607
整理番号:12A1512587
マイクロ/ナノ座標測定システムの検証
Verification of Micro/Nano coordinate measuring systems
著者 (4件):
SATO Osamu
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
OSAWA Sonko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
ABBE Makoto
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
TAKATSUJI Toshiyuki
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名:
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻:
2012
号:
秋季(シンポジウム資料集)
ページ:
70-71
発行年:
2012年09月14日
JST資料番号:
Y0914A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)