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文献
J-GLOBAL ID：201202222083369540
整理番号：12A1711920
集束イオンビーム化学蒸着を用いて作製したナノメカニカル音叉
Nanomechanical tuning forks fabricated using focused-ion-beam chemical vapor deposition
ASHIBA Hiroki
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan and The Japan Soc. ...)
,
KOMETANI Reo
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
,
WARISAWA Shin’ichi
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
,
ISHIHARA Sunao
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 6 ページ： 06FD03-06FD03-5 発行年： 2012年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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