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文献
J-GLOBAL ID：201202222819120579
整理番号：12A1711909
ポリ(ジメチルシロキサン)型を用いたナノインプリンティングにより作製したピラー構造の密度測定
Density measurement of pillar structure fabricated via nanoimprinting using a poly(dimethylsiloxane) mold
KANG Yuji
(LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan, CREST, Japan Sci. and ...)
,
NAKAI Yasuki
(LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan and CREST, Japan Sci. ...)
,
HARUYAMA Yuichi
(LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan and CREST, Japan Sci. ...)
,
MATSUI Shinji
(LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan and CREST, Japan Sci. ...)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 6 ページ： 06FB06-06FB06-6 発行年： 2012年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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