文献
J-GLOBAL ID:201202222840493172
整理番号:12A1712001
有機架橋基を含む有機けい酸塩低k材料と酸素プラズマの相互作用の反応機構
Reaction mechanisms of oxygen plasma interaction with organosilicate low-k materials containing organic crosslinking groups
著者 (2件):
CHAUDHARI Mrunalkumar
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of North Texas, Denton, Texas 76210)
,
DU Jincheng
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of North Texas, Denton, Texas 76210)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
30
号:
6
ページ:
061302-061302-7
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)