文献
J-GLOBAL ID:201202223872206082
整理番号:12A1287129
反応性スパッタリングによるKTa1-xNbxO3薄膜の反射分光法
Reflection Spectroscopy of KTa1-xNbxO3 Thin Films by Reactive Sputtering
著者 (5件):
GOTO T.
(Meiji Univ., Kawasaki, JPN)
,
NISHIMURA K.
(Meiji Univ., Kawasaki, JPN)
,
YUASA A.
(Meiji Univ., Kawasaki, JPN)
,
TANAKA T.
(Meiji Univ., Kawasaki, JPN)
,
MATSUMOTO H.
(Meiji Univ., Kawasaki, JPN)
資料名:
UVSOR Activity Report
(UVSOR Activity Report)
巻:
2011
ページ:
72
発行年:
2012年06月
JST資料番号:
L2127A
ISSN:
0911-5730
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)