文献
J-GLOBAL ID:201202224143913247
整理番号:12A1218764
干渉パターニングを利用した周期アレイの大面積製作
Large area direct fabrication of periodic arrays using interference patterning
著者 (10件):
LASAGNI Andres F.
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
ROCH Teja
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
ROCH Teja
(Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
,
LANGHEINRICH Denise
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
BIEDA Matthias
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
PEREZ Heidi
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
PEREZ Heidi
(Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
,
WETZIG Andreas
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
BEYER Eckhard
(Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
,
BEYER Eckhard
(Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8244
ページ:
82440F.1-82440F.10
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)