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文献
J-GLOBAL ID：201202224316105753
整理番号：12A1439329
スピンオン有機ハードマスク材料のためのパターンウィグリング(wiggling)研究
Investigation of pattern wiggling for spin-on organic hardmask materials
WAKAMATSU Goji
(JSR Micro, Inc., CA)
,
GOTO Kentaro
(JSR Micro, Inc., CA)
,
HISHIRO Yoshi
(JSR Micro, Inc., CA)
,
FURUKAWA Taiichi
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
MURAKAMI Satoru
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
MOTONARI Masayuki
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
YAMAGUCHI Yoshikazu
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
SHIMOKAWA Tsutomu
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
BREYTA Greg
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
DESILVA Anuja
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
ARELLANO Noel
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
BOZANO Luisa D.
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
SOORIYAKUMARAN Ratnam
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
LARSON Carl E.
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
GLODDE Martin
(IBM T.J. Watson Res. Center, NY)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8325 ページ： 83250T.1-83250T.9 発行年： 2012年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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