文献
J-GLOBAL ID:201202224316105753
整理番号:12A1439329
スピンオン有機ハードマスク材料のためのパターンウィグリング(wiggling)研究
Investigation of pattern wiggling for spin-on organic hardmask materials
著者 (15件):
WAKAMATSU Goji
(JSR Micro, Inc., CA)
,
GOTO Kentaro
(JSR Micro, Inc., CA)
,
HISHIRO Yoshi
(JSR Micro, Inc., CA)
,
FURUKAWA Taiichi
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
MURAKAMI Satoru
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
MOTONARI Masayuki
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
YAMAGUCHI Yoshikazu
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
SHIMOKAWA Tsutomu
(JSR Corp., Mie, JPN)
,
BREYTA Greg
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
DESILVA Anuja
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
ARELLANO Noel
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
BOZANO Luisa D.
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
SOORIYAKUMARAN Ratnam
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
LARSON Carl E.
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
GLODDE Martin
(IBM T.J. Watson Res. Center, NY)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8325
ページ:
83250T.1-83250T.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)