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文献
J-GLOBAL ID：201202224824585345
整理番号：12A0141259
集積回路配線用銅薄膜の付着強度評価における試験片寸法の効果
宍戸信之
(名古屋工大)
,
宍戸信之
(JST)
,
CHEN Chuantong
(名古屋工大 大学院)
,
神谷庄司
(名古屋工大)
,
神谷庄司
(JST)
,
大宮正毅
(慶応大)
,
大宮正毅
(JST)
,
佐藤尚
(名古屋工大)
,
佐藤尚
(JST)
,
西田政弘
(名古屋工大)
,
西田政弘
(JST)
,
鈴木貴志
(富士通研)
,
中村友二
(富士通研)
,
野久尾毅
(日本電子)
,
野久尾毅
(JST)
,
長澤忠広
(日本電子)
,
長澤忠広
(JST)
資料名：
日本機械学会計算力学講演会論文集(CD-ROM)
(日本機械学会計算力学講演会(CD-ROM))
巻： 24th ページ： ROMBUNNO.104 発行年： 2011年
JST資料番号： L0203B ISSN： 2424-2799 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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