文献
J-GLOBAL ID:201202224968600276
整理番号:12A1754314
様々な物理的洗浄の比較
Comparisons of various physical cleaning
著者 (5件):
BAE Sang Won
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
KANG Dae Hyuk
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
LEE Hyo San
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
LEE Kun Tack
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
KOH Yong Sun
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
資料名:
Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena
(Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻:
187
ページ:
131-134
発行年:
2012年
JST資料番号:
T0583A
ISSN:
1012-0394
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)