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文献
J-GLOBAL ID：201202225217087618
整理番号：12A1757954
ゾルゲル法による高アスペクト比PZT構造を持つ横方向駆動圧電バイモルフマイクロアクチュエータ
Laterally-driven Piezoelectric Bimorph Microactuator with Sol-Gel-based High-Aspect-Ratio PZT Structure
WANG Nan
(Tohoku Univ. Sendai)
,
YOSHIDA Shinya
(Tohoku Univ. Sendai)
,
KUMANO Masafumi
(Tohoku Univ. Sendai)
,
KAWAI Yusuke
(Tohoku Univ. Sendai)
,
TANAKA Shuji
(Tohoku Univ. Sendai)
,
ESASHI Masayoshi
(Tohoku Univ. Sendai)
資料名：
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 29th ページ： ROMBUNNO.2E3-4 発行年： 2012年10月22日
JST資料番号： X0768B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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