文献
J-GLOBAL ID:201202225425882910
整理番号:12A1023638
走査型プローブを有する埋め込みTiN/Si界面での局所的相互拡散
Local interdiffusion at buried TiN/Si interfaces with scanning probes
著者 (8件):
CHEN C-H
(National Synchrotron Radiation Res. Center, Hsinchu, TWN)
,
CHENG C-E
(National Chung Cheng Univ., Chiayi, TWN)
,
CHENG C-E
(Tunghai Univ., Taichung, TWN)
,
HSU C-C
(National Chung Cheng Univ., Chiayi, TWN)
,
CHANG M-N
(National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN)
,
SHIU H W
(National Synchrotron Radiation Res. Center, Hsinchu, TWN)
,
SHIU H W
(National Tsing-Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHIEN F S-S
(Tunghai Univ., Taichung, TWN)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
45
号:
21
ページ:
215307,1-5
発行年:
2012年05月30日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)