文献
J-GLOBAL ID:201202225907118478
整理番号:12A0906401
ねじれマイクロミラーのスクイーズ膜減衰のモデル化における支持物の垂直偏位の影響
The influence of vertical deflection of the supports in modeling squeeze film damping in torsional micromirrors
著者 (3件):
MOEENFARD Hamid
(Center of Excellence in Design, Robotics and Automation, School of Mechanical Engineering, Sharif Univ. of Technol. ...)
,
MOEENFARD Hamid
(School of Mechanical Engineering, Univ. of Michigan, Ann Arbor, MI, USA)
,
TAGHI AHMADIAN Mohammad
(Center of Excellence in Design, Robotics and Automation, School of Mechanical Engineering, Sharif Univ. of Technol. ...)
資料名:
Microelectronics Journal
(Microelectronics Journal)
巻:
43
号:
8
ページ:
530-536
発行年:
2012年08月
JST資料番号:
A0186A
ISSN:
0026-2692
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)