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文献
J-GLOBAL ID：201202225935486989
整理番号：12A1219672
法線ベクトル追跡を用いた高速ナノプロファイラーの開発
Development of a High-Speed Nanoprofiler using Normal Vector Tracing
KITAYAMA Takao
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TONARU Daisuke
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MATSUMURA Hiroki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
UCHIKOSHI Junichi
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HIGASHI Yasuo
(High Energy Accelerator Res. Organization, Ibaraki, JPN)
,
ENDO Katsuyoshi
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 516 ページ： 606-611 発行年： 2012年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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