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文献
J-GLOBAL ID：201202226037759339
整理番号：12A0235208
22nm位置合わせおよびオーバーレイ応用のためのKLA-Tencor社LMS IPRO5ベータシステムの評価
Evaluation of KLA-Tencor LMS IPRO5 beta system for 22nm node registration and overlay applications
FERBER M.
(KLA-Tencor MIE GmbH, Weilburg, DEU)
,
LASKE F.
(KLA-Tencor MIE GmbH, Weilburg, DEU)
,
ROETH K.-D.
(KLA-Tencor MIE GmbH, Weilburg, DEU)
,
ADAM D.
(KLA-Tencor MIE GmbH, Weilburg, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8166 号： Pt.1 ページ： 81661F.1-81661F.8 発行年： 2011年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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