文献
J-GLOBAL ID:201202226053659662
整理番号:12A0960625
薄い残留層条件下のペンタフルオロプロパンを用いたスピンコート膜における紫外線ナノインプリントのスループット
Throughput of Ultraviolet Nanoimprint in Pentafluoropropane Using Spin Coat Films under Thin Residual Layer Conditions
著者 (5件):
HIROSHIMA Hiroshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
HIROSHIMA Hiroshi
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
SUZUKI Kenta
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SUZUKI Kenta
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
SUZUKI Kenta
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
51
号:
6,Issue 2
ページ:
06FJ10.1-06FJ10.5
発行年:
2012年06月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)