文献
J-GLOBAL ID:201202226131228126
整理番号:12A1737810
フォトマスクにおけるクロムマイグレーションのシミュレーション及びその防止
A Simulation of Chrome Migration and its Prevention in Photomask
著者 (4件):
KIM Jong-Min
(PKL-Photronics, Choongnam, KOR)
,
HUR Ik-Boum
(PKL-Photronics, Choongnam, KOR)
,
LEE Dong-Heok
(PKL-Photronics, Choongnam, KOR)
,
CHOI Sang-Soo
(PKL-Photronics, Choongnam, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8441
ページ:
844104.1-844104.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)