文献
J-GLOBAL ID:201202226169178777
整理番号:12A0785077
マイクロシステム中の触媒薄膜の局所蒸着とパターン形成
Local deposition and patterning of catalytic thin films in microsystems
著者 (5件):
VERESHCHAGINA E
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
BLIZNYUK O
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
TIGGELAAR R M
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
ALTENA-SCHILDKAMP K
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
GARDENIERS J G E
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
4
ページ:
045023,1-11
発行年:
2012年04月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)