文献
J-GLOBAL ID:201202227020645514
整理番号:12A1446021
高アスペクト比コンタクトホールのCD-SEMおよびE-ビーム欠陥検査 : プリチャージの測定およびシミュレーション
CD-SEM and E-beam Defect Inspection of High Aspect Ratio Contact Holes: Measurement and Simulation of Pre-charge
著者 (7件):
BABIN S.
(aBeam Technol., Inc., CA, USA)
,
BORISOV S.
(aBeam Technol., Inc., CA, USA)
,
KWON G.
(Hynix Semiconductor Inc., Ichon-si, KOR)
,
LEE C. H.
(Hynix Semiconductor Inc., Ichon-si, KOR)
,
OH J. H.
(Hynix Semiconductor Inc., Ichon-si, KOR)
,
MUN D. Y.
(Hynix Semiconductor Inc., Ichon-si, KOR)
,
YOO H. W.
(Hynix Semiconductor Inc., Ichon-si, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.2
ページ:
832428.1-832428.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)