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文献
J-GLOBAL ID：201202227122938354
整理番号：12A1145196
歩留りのモデル化,チャンバの整合,及び仮想計測法応用に対するデータマイニング法の比較
A Comparison of Data Mining Methods for Yield Modeling, Chamber Matching and Virtual Metrology Applications
SHARMA Deepak
(Applied Materials, Bangalore, IND)
,
ARMER Helen
(Applied Materials, Bangalore, IND)
,
MOYNE James
(Applied Materials, Bangalore, IND)
資料名：
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻： 23rd ページ： 231-236 発行年： 2012年
JST資料番号： W0718A ISSN： 1078-8743 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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