文献
J-GLOBAL ID:201202227937344920
整理番号:12A0929842
タングステン電極を持つMEMリレーにおける接触抵抗安定性の評価
Characterization of Contact Resistance Stability in MEM Relays With Tungsten Electrodes
著者 (6件):
CHEN Yenhao
(Univ. California, CA, USA)
,
NATHANAEL Rhesa
(Univ. California, CA, USA)
,
JEON Jaeseok
(State Univ. New Jersey, NJ, USA)
,
YAUNG Jack
(Univ. California, CA, USA)
,
HUTIN Louis
(Univ. California, CA, USA)
,
LIU Tsu-Jae King
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
21
号:
3
ページ:
511-513
発行年:
2012年06月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)