文献
J-GLOBAL ID:201202228284002936
整理番号:12A1439330
ウィグリング(wiggling)耐性の高いスピンオンカーボンハードマスク
Spin-on-Carbon-Hardmask with high wiggling resistance
著者 (7件):
SOMEYA Yasunobu
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
,
SHINJO Tetsuya
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
,
HASHIMOTO Keisuke
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
,
NISHIMAKI Hirokazu
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
,
KARASAWA Ryo
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
,
SAKAMOTO Rikimaru
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
,
MATSUMOTO Takashi
(Nissan Chemical Ind., Ltd., Toyama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8325
ページ:
83250U.1-83250U.6
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)