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J-GLOBAL ID：201202228848111480 整理番号：12A0231003

位相シフトインライン干渉測定,単一ショット軸外構造,Zernike多項式フィッティングを利用した曲率測定

Curvature measurement using phase shifting in-line interferometry, single shot off-axis geometry and Zernike’s polynomial fitting

著者 (4件)：

ABDELSALAM D.g.

(Div. of Mechanical System Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)

ABDELSALAM D.g.

(Engineering and Surface Metrology Lab., National Inst. of Standards, Tersa St., El haram, El Giza, Egypt)

BAEK Byung Joon

(Div. of Mechanical System Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)

KIM Daesuk

(Div. of Mechanical System Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)

資料名：

Optik (Optik)

巻： 123 号： 5 ページ： 422-427 発行年： 2012年03月
JST資料番号： D0251A ISSN： 0030-4026 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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