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文献
J-GLOBAL ID：201202229802823570
整理番号：12A1098752
薄膜アモルファスシリコンMEMS共振器の信頼性と安定性
Reliability and stability of thin-film amorphous silicon MEMS resonators
SOUSA P M
(INESC Microsistemas e Nanotecnologias(INESC MN) and IN-Inst. Nanoscience and Nanotechnology, Lisbon, PRT)
,
CHU V
(INESC Microsistemas e Nanotecnologias(INESC MN) and IN-Inst. Nanoscience and Nanotechnology, Lisbon, PRT)
,
CONDE J P
(INESC Microsistemas e Nanotecnologias(INESC MN) and IN-Inst. Nanoscience and Nanotechnology, Lisbon, PRT)
,
CONDE J P
(Universidade Tecnica de Lisboa, Lisbon, PRT)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22 号： 6 ページ： 065030,1-8 発行年： 2012年06月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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