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文献
J-GLOBAL ID:201202231375975202   整理番号:12A1288879

表面音響波による低-k/Siの界面接着特性の非破壊決定

Nondestructive determination of interfacial adhesion property of low-k/Si by the surface acoustic waves
著者 (3件):
XIAO X.
SUN Y.
SHAN X.-m.

資料名:
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

巻: 207  ページ: 240-244  発行年: 2012年08月25日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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