前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202231437586291
整理番号：12A1711873
指向性自己集合を用いた半導体及び誘電体材料のサブ30nmピッチライン-スペースパターニング
Sub-30 nm pitch line-space patterning of semiconductor and dielectric materials using directed self-assembly
TSAI Hsin-yu
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
MIYAZOE Hiroyuki
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
ENGELMANN Sebastian
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
TO Bang
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
SIKORSKI Ed
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
BUCCHIGNANO Jim
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
KLAUS Dave
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
LIU Chi-chun
(IBM Almaden Res. Center, 650 Harry Road, San Jose, California 95120 and IBM Albany Nanotech, 257 Fuller Road, Suite ...)
,
CHENG Joy
(IBM Almaden Res. Center, 650 Harry Road, San Jose, California 95120)
,
SANDERS Dan
(IBM Almaden Res. Center, 650 Harry Road, San Jose, California 95120)
,
FULLER Nicholas
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
,
GUILLORN Michael
(IBM Watson Res. Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown, New York 10598)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 6 ページ： 06F205-06F205-6 発行年： 2012年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。