前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202231553021951
整理番号：12A1524798
極端紫外領域でのSiCキャップ層を有するチャープMo/Si多層膜反射鏡の設計
Design of the chirped Mo/Si multilayer mirror with SiC capping layer in extreme ultraviolet region
WANG Feng-li
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
,
LIU Lei
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
,
LI Wen-bin
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
,
ZHU Jing-tao
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
,
ZHANG Zhong
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
,
WANG Zhan-shan
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
,
CHEN Ling-yan
(Key Lab. of Advanced Micro-structure Materials, MOE, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN)
資料名：
Optik
(Optik)
巻： 123 号： 24 ページ： 2222-2225 発行年： 2012年12月
JST資料番号： D0251A ISSN： 0030-4026 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。