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文献
J-GLOBAL ID：201202231686290076
整理番号：12A1103083
パルスレーザ蒸着によるCNx膜の形成における窒素の役割
Role of Nitrogen in the Formation of CNx Films by Pulsed Laser Deposition
WANG Zhiping
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
ITO Hiroaki
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
MASUGATA Katsumi
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 40 号： 7,Pt.1 ページ： 1815-1819 発行年： 2012年07月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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