文献
J-GLOBAL ID:201202231700157708
整理番号:12A1446041
工場におけるDOMA修正のための効率を改善するレチクル密度ベースクリティカルディメンション均一性
Reticle intensity based Critical Dimension Uniformity to improve efficiency for DOMA correction in a foundry
著者 (12件):
TANG Kin Wai
(GLOBALFOUNDRIES Songapore Pte Ltd., Singapore)
,
NG Teng Hwee
(GLOBALFOUNDRIES Songapore Pte Ltd., Singapore)
,
HUANG Lei
(GLOBALFOUNDRIES Songapore Pte Ltd., Singapore)
,
NG Susan
(GLOBALFOUNDRIES Songapore Pte Ltd., Singapore)
,
KU Thomas
(GLOBALFOUNDRIES Songapore Pte Ltd., Singapore)
,
CHIA Wee Teck
(KLA-Tencor Singapore, Singapore)
,
CHUA Lin
(KLA-Tencor Singapore, Singapore)
,
LI William
(KLA-Tencor Singapore, Singapore)
,
CHIN Aaron
(KLA-Tencor Singapore, Singapore)
,
DAYAL Aditya
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
VAVUL Tom
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
HUTCHINSON Trent
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.2
ページ:
83242W.1-83242W.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)