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文献
J-GLOBAL ID：201202231732286887
整理番号：12A0604197
レーザ熱リソグラフィーによるAgInSbTe相変化膜の選択エッチング特性
Selective etching characteristics of the AgInSbTe phase-change film in laser thermal lithography
LI Hao
(Chinese Acad. of Sciences, Key Lab. of Material Sci. and Technol. for High Power Lasers, Shanghai Inst. of Optics ...)
,
LI Hao
(Graduate School of the Chinese Acad. of Sci., 100039, Beijing, P.R. China)
,
GENG Yongyou
(Chinese Acad. of Sciences, Key Lab. of Material Sci. and Technol. for High Power Lasers, Shanghai Inst. of Optics ...)
,
WU Yiqun
(Chinese Acad. of Sciences, Key Lab. of Material Sci. and Technol. for High Power Lasers, Shanghai Inst. of Optics ...)
,
WU Yiqun
(Ministry of Education, Key Lab. of Functional Inorganic Material Chemistry, Heilongjiang Univ., 150080, Harbin, P.R. ...)
,
WU Yiqun
(Chinese Acad. of Sciences, Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, No. 390, Qinghe Road, Jiading District, P.O. ...)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 107 号： 1 ページ： 221-225 発行年： 2012年04月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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