文献
J-GLOBAL ID:201202231886318188
整理番号:12A0549340
二重シリコンナノワイヤベースの低いプルイン電圧のU字型ナノ電気機械スイッチ
A dual-silicon-nanowires based U-shape nanoelectromechanical switch with low pull-in voltage
著者 (4件):
QIAN You
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, National Univ. of Singapore, 4 Engineering Drive 3, Singapore 117576)
,
LOU Liang
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, National Univ. of Singapore, 4 Engineering Drive 3, Singapore 117576)
,
JULIUS TSAI Minglin
(Inst. of Microelectronics, A*STAR (Agency for Sci., Technol. and Research), 11 Sci. Park Road, Singapore Sci. Park ...)
,
LEE Chengkuo
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, National Univ. of Singapore, 4 Engineering Drive 3, Singapore 117576)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
100
号:
11
ページ:
113102-113102-3
発行年:
2012年03月12日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)