文献
J-GLOBAL ID:201202232446600635
整理番号:12A1215607
小型光学素子の高精度の幾何学的特性評価とアラインメント
High precision geometrical characterization and alignment of miniaturized optics
著者 (3件):
LANGEHANENBERG Patrik
(Trioptics GmbH, Wedel, DEU)
,
HEINISCH Josef
(Trioptics GmbH, Wedel, DEU)
,
DUMITRESCU Eugen
(Trioptics GmbH, Wedel, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8249
ページ:
82490U.1-82490U.6
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)