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文献
J-GLOBAL ID：201202232594339369
整理番号：12A0430771
ネオジム鉄ホウ素磁石及び低ガス放出本体をもつ新しい軽量イオンポンプ
Novel light sputter ion pump with neodymium iron boron magnets and the low outgassing body
HA Taekyun
(Pohang Accelerator Lab., POSTECH, Pohang 790-784, KOR)
,
PARK C. D.
(Pohang Accelerator Lab., POSTECH, Pohang 790-784, KOR)
,
CHUNG Sukmin
(Dep. of Physics, POSTECH, Pohang 790-784, KOR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30 号： 2 ページ： 020601 発行年： 2012年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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