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文献
J-GLOBAL ID：201202232685470069
整理番号：12A0965163
マグネトロンスパッタリングによって堆積させたa-IGZO/ITOハイブリッド層のキャラクタリゼーション
Characteristics of a-IGZO/ITO Hybrid Layer Deposited by Magnetron Sputtering
BANG Joon-Ho
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
,
PARK Hee-Woo
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
,
CHO Sang-Hyun
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
,
SONG Pung-Keun
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
資料名：
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12 号： 4 ページ： 3425-3429 発行年： 2012年04月
JST資料番号： W1351A ISSN： 1533-4880 CODEN： JNNOAR 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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