文献
J-GLOBAL ID:201202232764165107
整理番号:12A1429710
開発サイクルアプリケーションのCD-SEMロバスト計測アルゴリズムを構築する方法論
Methodology for Establishing CD-SEM Robust Metrology Algorithm for Development Cycles Applications
著者 (8件):
HITOMI Keiichiro
(Hitachi America, Ltd., NY, USA)
,
LAVIGNE Erin
(IBM Systems and Technol. Group at Albany Nanotech, NY, USA)
,
HOTTA Shoji
(Hitachi America, Ltd., NY, USA)
,
MOMONOI Yoshinori
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
COLBURN Matthew
(IBM Res. Div. at Albany Nanotech, NY, USA)
,
YAMAGUCHI Atsuko
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
SASADA Katsuhiro
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)
,
MAEDA Tatsuya
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.1
ページ:
83241G.1-83241G.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)