文献
J-GLOBAL ID:201202232787611848
整理番号:12A0674436
エネルギーハーベスティングMEMSの改良に対する薄膜圧電材料
Thin-Film Piezoelectric Materials For a Better Energy Harvesting MEMS
著者 (5件):
WASA Kiyotaka
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MATSUSHIMA Tomoaki
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Kadoma, JPN)
,
ADACHI Hideaki
(Panasonic Corp., Seikacho, JPN)
,
KANNO Isaku
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KOTERA Hidetoshi
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
21
号:
2
ページ:
451-457
発行年:
2012年04月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)