文献
J-GLOBAL ID:201202233271243377
整理番号:12A0025876
導電性原子間力顕微鏡法によるナノメータ分解能での単一ビット故障
Single-bit failure analysis at a nanometer resolution by conductive atomic force microscopy
著者 (3件):
JIANG Yong
(School of Chemistry and Chemical Engineering, Southeast Univ., Jiangning, Nanjing, Jiangsu 211189, CHN)
,
LAI Li-lung
(Semiconductor Manufacturing International Corp., Shanghai 201203, CHN)
,
ZHOU Jian-jun
(Coll. of Chemistry, Beijing Normal Univ., Beijing 100875, CHN)
資料名:
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻:
52
号:
1
ページ:
159-164
発行年:
2012年01月
JST資料番号:
C0530A
ISSN:
0026-2714
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)