文献
J-GLOBAL ID:201202233364839890
整理番号:12A1754323
メガソニック洗浄におけるキャビテーションヒステリシスの重要性
The Importance of Cavitation Hysteresis in Megasonic Cleaning
著者 (11件):
CAMEROTTO Elisabeth
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
CAMEROTTO Elisabeth
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
DE GENDT Stefan
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
DE GENDT Stefan
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
HAUPTMANN Marc
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
HAUPTMANN Marc
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
SHAMIRYAN Denis
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
HEYNS Marc
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
HEYNS Marc
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
MERTENS Paul W.
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
BREMS Steven
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
資料名:
Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena
(Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻:
187
ページ:
171-175
発行年:
2012年
JST資料番号:
T0583A
ISSN:
1012-0394
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)