文献
J-GLOBAL ID:201202234020491505
整理番号:12A1152367
ナノ位置決め及びナノ測定機械の範囲に基づく光学的2.5次元センサ
Area-based optical 2.5D sensors of a nanopositioning and nanomeasuring machine
著者 (5件):
MACHLEIDT T
(Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
,
SPARRER E
(Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
,
MANSKE E
(Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
,
KAPUSI D
(Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
,
FRANKE K-H
(Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
23
号:
7
ページ:
074010,1-6
発行年:
2012年07月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)