文献
J-GLOBAL ID:201202234306918271
整理番号:12A1727994
水蒸気プラズマによるチタン薄膜の酸化と同時水素化
Oxidation of thin Ti films and its simultaneous hydrogenation by water vapor plasma
著者 (5件):
PRANEVICIUS Liudas
(Dep. of Physics, Vytautas Magnus Univ., Kaunas, LTU)
,
TUCKUTE Simona
(Dep. of Physics, Vytautas Magnus Univ., Kaunas, LTU)
,
TUCKUTE Simona
(Centre for Hydrogen Energy Technologies, Lithuanian Energy Inst., Kaunas, LTU)
,
GEDVILAS Karolis
(Dep. of Physics, Vytautas Magnus Univ., Kaunas, LTU)
,
MILCIUS Darius
(Centre for Hydrogen Energy Technologies, Lithuanian Energy Inst., Kaunas, LTU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
524
ページ:
133-136
発行年:
2012年12月01日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)