文献
J-GLOBAL ID:201202234432108048
整理番号:12A1327955
微結晶シリコン薄膜蒸着における<110>方向成長の決定因子
Determination factor of <110> direction growth in microcrystalline silicon thin film deposition
著者 (2件):
SAITO Kimihiko
(Photovoltaic Power Generation Technol. Res. Assoc. (PVTEC), Central 2, Umezono 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
KONDO Michio
(Res. Center for Photovoltaics, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Central 2, Umezono ...)
資料名:
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻:
358
号:
17
ページ:
1983-1986
発行年:
2012年09月01日
JST資料番号:
D0642A
ISSN:
0022-3093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)