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文献
J-GLOBAL ID：201202234512950858
整理番号：12A0161535
四面体非晶質炭素膜の固有成長応力とRaman評価への膜厚の影響
Influence of film thickness on intrinsic growth stress and Raman evaluation of tetrahedral amorphous carbon films
ZHU Jiaqi
(Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
,
HAN Jiecai
(Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
,
MENG Songhe
(Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
,
HE Xiaodong
(Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
,
TAN Manlin
(Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
,
GAO Wei
(Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
資料名：
Materials Science Forum
(Materials Science Forum)
巻： 475/479 号： Pt.5 ページ： 3627-3630 発行年： 2005年
JST資料番号： D0716B ISSN： 0255-5476 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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