文献
J-GLOBAL ID:201202235208634709
整理番号:12A1218825
ポリシリコンMEMS電熱構造の使用による表面トポグラフィと材料特性の変化
Usage Induced Changes to Surface Topography and Material Properties in Polysilicon MEMS Electrothermal Structures
著者 (3件):
OAK Sahil
(Texas Tech Univ., Texas)
,
RAMACHANDRAN Gautham
(Texas Tech Univ., Texas)
,
DALLAS Tim
(Texas Tech Univ., Texas)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8250
ページ:
825005.1-825005.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)