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文献
J-GLOBAL ID：201202236199734963
整理番号：12A0320369
形状記憶合金薄膜を活用した高速マイクロアクチュエータの特徴描写
Characterization of High-Speed Microactuator Utilizing Shape Memory Alloy Thin Films
TOMOZAWA M.
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
OKUTSU K.
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
KIM H. Y.
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
MIYAZAKI S.
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名：
Materials Science Forum
(Materials Science Forum)
巻： 475/479 号： Pt.3 ページ： 2037-2042 発行年： 2005年
JST資料番号： D0716B ISSN： 0255-5476 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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