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文献
J-GLOBAL ID：201202236287851864
整理番号：12A1160919
自己組織化単分子膜の蒸着:酸化シリコン基板上の揮発性シランのビニル終端膜
A vapor phase deposition of self-assembled monolayers: Vinyl-terminated films of volatile silanes on silicon oxide substrates
ADAMKIEWICZ Malgorzata
(EaStChem School of Chemistry, Univ. of St Andrews, North Haugh, St Andrews KY16 9ST, GBR)
,
O’HARA Tony
(MEMSStar Technol., Scottish Microelectronics Centre, West Mains Road, Edinburgh EH9 3JF, GBR)
,
O’HAGAN David
(EaStChem School of Chemistry, Univ. of St Andrews, North Haugh, St Andrews KY16 9ST, GBR)
,
HAEHNER Georg
(EaStChem School of Chemistry, Univ. of St Andrews, North Haugh, St Andrews KY16 9ST, GBR)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 520 号： 22 ページ： 6719-6723 発行年： 2012年09月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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